光デバイス,特にシリコンフォトニクス,シリコン変調器

2022.08.30 By 横浜国立大学 大学院工学研究院 知的構造の創生部門 馬場 俊彦

材料工学

研究概要

微小な光デバイスとその高性能化、高機能化、集積化を20年以上にわたり研究してきました。特にシリコンフォトニクスとフォトニック結晶については分野創生期から分野を牽引し、ナノレーザ、スローライト、負屈折光学素子などを生み出しました。世界最小のレーザや光変調器、他に例のない光遅延の制御、巨大な光非線形効果、高輝度LED、超小型なAWG波長合分波器やコヒーレント光受信器、大規模バイオマーカーセンサチップなどを実現しています。近年は光レーダー(LiDAR)の集積化に注力しています。

アドバンテージ

上記の研究では、電子ビーム描画とICPエッチングによる半導体加工技術、シリコンCMOSプロセスを利用したウエハスケールのデバイス製作、FDTD法による大規模な光波解析やフォトニックバンド解析、Siフォトニクス用GDSデータ生成、光ファイバ通信波長帯における広帯域・高速光伝送特性評価、スローライト、共振器QEDなど高度な光物理、パルス計測、LiDAR開発、バイオセンシング応用を含みます。これらと接点をもつ研究開発についてご相談下さい。

事例紹介

シリコンフォトニクスは、現在、光集積プラットフォームとして一般化してきており、新規に取り組もうと考える複数の企業に対して、ファブの利用法の指南、必要な設計の提供,データ作成、製作・実装・評価までの方法を紹介しました。また、特に最近のFMCW方式LiDARの研究では、自動車応用をはじめとして、幅広い用途からの相談を受け入れております。

相談に応じられるテーマ

光デバイス,特にシリコンフォトニクス,シリコン変調器

半導体レーザ・半導体加工

光センサ,特にバイオセンサとLiDAR,光パルス計測

光波解析・シミュレーション

主な所属学会

電子情報通信学会

応用物理学会

米国電気電子学会(IEEE)

主な論文

Slow light in photonic crystals』「Nature Photonics, vol.2,no.8,pp.465-4732008 (Review

GaInAsP半導体ナノレーザのバイオセンシング応用』「電子情報通信学会論文誌, vol. J100-C, no. 2, pp. 61-712017 (招待論文).

『シリコンフォトニクススローライトライダの開発』「電子情報通信学会論文誌, vol. J103-C, no. 11, pp. 434-4522020(招待論文)

主な特許

特許第4867011号「屈折率センサおよび屈折率測定装置」

特許第6041264号「光相関計」

特許第6879561号「光偏向デバイスおよびライダー装置」

主な著書

Roadmap on Photonic CrystalsKluwer Academic, 2003.

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特許情報

特許第4867011号「屈折率センサおよび屈折率測定装置」

JPB 004867011-000000

特許第6041264号「光相関計」

JPB 006041264-000000

特許第6879561号「光偏向デバイスおよびライダー装置」

JPB 006879561-000000