赤外線受光素子

技術概要

半導体型Ｃ Ｎ Ｔ を用い、高いＴ Ｃ Ｒ 値を備える赤外線受光素子を提供する

用途・応用

赤外線受光素子

背景

　従来、カーボンナノチューブ（Ｃａｒｂｏｎ　ＮａｎｏＴｕｂｅ：ＣＮＴ）を溶媒中に分散させてＣＮＴ分散液を調製し、ＣＮＴ分散液を原料としてＣＮＴ薄膜を成膜し、ＣＮＴ薄膜をアニール処理してＣＮＴ薄膜の－１０～５０℃における抵抗温度係数の絶対値を１％／Ｋ以上にする工程を含む赤外線センサ材料の作製方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に記載の赤外線センサ材料の作製方法によれば、比較的成膜の容易なＣＮＴを薄膜化するので、プロセス生産性を向上させることができる。

【先行技術文献】
【特許文献】
【特許文献１】国際公開第２０１２／０４９８０１号

課題

　しかし、特許文献１に記載されている赤外線センサ材料の作製方法によるＣＮＴ薄膜においてはＣＮＴに金属型ＣＮＴが混在しており、熱抵抗変化率（ＴＣＲ値）が室温において低く、赤外線センサの性能向上に限界があった。

　したがって、本発明の目的は、半導体型ＣＮＴを用い、高いＴＣＲ値を備える赤外線受光素子を提供することにある。

手段

　本発明は、上記目的を達成するため、基板と、基板上に設けられる第１電極と、基板上であって、第１電極から離間して設けられる第２電極と、第１電極及び第２電極から離間して設けられる第３電極と、第１電極と第２電極とに接触して設けられ、単一カイラリティの半導体型カーボンナノチューブを含んで構成されるチャネル部とを備える赤外線受光素子が提供される。

効果

　本発明に係る赤外線受光素子によれば、半導体型ＣＮＴを用い、高いＴＣＲ値を備える赤外線受光素子を提供できる。

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