高視認性超音波検査装置

技術概要

超音波アレイ式センサを使用して液体中の物体を高い精度で認識できる装置です。不透明な液体中でも見ることができます。

用途・応用

魚群探知、エコー検査

背景

　従来、超音波を出射する超音波送信手段と、レーザ光を照射及び入射する光ファイバとを備え、前記超音波送信手段から出射された超音波の被測定対象物による反射波（受信信号）を前記光ファイバを介して受信し、受信信号を解析することにより被測定対象物の画像化を行う超音波検査装置が公知となっている（例えば、下記特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【特許文献１】特許第３０２１１７６号公報
【特許文献２】特許第４８９８２４７号公報

課題

　しかしながら、上述した従来の技術にあっては、例えば図９に示すように被測定対象物からの反射波６２の一部６５，６６が、センサ本体０１の内部及び受信面０２を伝播して受信点Ｐに到達することによって本来の受信信号（実信号）のノイズとなり、被測定対象物を画像化する際に画像の劣化要因となるという問題があった。また、一つの送信センサに対し複数の受信センサを設けて開口合成処理により画像化を行う場合、受信感度を向上させるためには多数の受信センサを設ける必要があり、受信センサの高密度配置を要して装置のコスト増加につながるという問題もあった。

　このようなことから本発明は、受信信号に重畳されるノイズを低減し、画像化における視認性を向上させることを可能とした超音波検査装置を提供することを目的とする。

手段

　上記の課題を解決するための第１の発明に係る超音波検査装置は、媒質中に存在する被測定対象物に対して超音波を送信する送信センサと、貫通孔を有する支持体並び に 金 属膜体を有する受信センサとを備え、前記被測定対象物によって反射された前記超音波の反射波による前記金属膜体の振動を解析し て 前 記被測定対象物の可視化を行う超音波検査装置であって、前 記支持体の内部又は前記金属膜体の表面又はその両方を伝搬する超音波を減衰させる超音波減衰手段を設け 、前 記 超 音 波 減 衰 手 段 と し て 、 前 記 貫 通 孔 に 挿 入 さ れ フ ェ ル ー ル を 介 し て 固 定 さ れ る 光 ファ イ バ の 先 端 を 前 記 支 持 体 か ら 突 出 さ せ る と と も に 、 前 記 光 フ ァ イ バ の 先 端 を 前 記 金 属 膜体 に よ っ て 非 接 触 に 覆 う よ う に 、 前 記 フ ェ ル ー ル の 先 端 に の み 前 記 金 属 膜 体 を 設 け たことを特徴とする。

効果

　上記の課題を解決するための第１の発明に係る超音波検査装置は、媒質中に存在する被測定対象物に対して超音波を送信する送信センサと、貫通孔を有する支持体並び に 金 属膜体を有する受信センサとを備え、前記被測定対象物によって反射された前記超音波の反射波による前記金属膜体の振動を解析し て 前 記被測定対象物の可視化を行う超音波検査装置であって、前 記支持体の内部又は前記金属膜体の表面又はその両方を伝搬する超音波を減衰させる超音波減衰手段を設け 、前 記 超 音 波 減 衰 手 段 と し て 、 前 記 貫 通 孔 に 挿 入 さ れ フ ェ ル ー ル を 介 し て 固 定 さ れ る 光 ファ イ バ の 先 端 を 前 記 支 持 体 か ら 突 出 さ せ る と と も に 、 前 記 光 フ ァ イ バ の 先 端 を 前 記 金 属 膜体 に よ っ て 非 接 触 に 覆 う よ う に 、 前 記 フ ェ ル ー ル の 先 端 に の み 前 記 金 属 膜 体 を 設 け たことを特徴とする。

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