気中パーティクルカウンターの選び方

2021.08.17

クリーンルームなどの微粒子や異物混入を防ぐためにコントロールされた部屋においては、空気清浄度の管理が重要です。空気清浄度の管理にはISO・JISで規定された気中パーティクルカウンターによって行います。空気清浄度クラスや気中パーティクルカウンターの知っておきたい内容をご紹介いたします。

気中パーティクルカウンターとは

気中パーティクルカウンターとは、機器により定められた規定流量を吸引して空気中の微粒子の大きさ(粒径)と数を測定する微粒子測定器です。
クリーンルーム、クリーンブース、クリーンベンチなど浮遊微粒子の濃度が制御されていて、微粒子の流入、生成、停滞を最小限にするように制御された空気中の浮遊している粒径及び個数の測定を行い、空気清浄度の管理に用いられます。
気中パーティクルカウンターはISO 21501-4(JIS B 9921)にて規定されております。

空気清浄度クラス

清浄度クラスは、ISO 14644-1(JIS B 9920)にて規定されており、粒径、粒子濃度によりクラス分類されております。1m3(1000L)の体積で対象粒径以上に対する上限粒子数濃度にてクラス分類(Class 1~9)の基準値となっています。
クラス100やクラス1000などの呼び方は、米国連邦規格(Fed.Std.209D)で規定された内容であり、1ft3(28.3L)の体積で評価される内容です。米国連邦規格は2001年にISO 14644へ改められ廃止されております。
ISO 14644-1は2015 年に改訂されており、低濃度の微粒子数上限濃度の廃止となっております。0.2 μm( 2個/m3)、0. 5 μm (4個/m3)、1. 0 μ m (8 個/m3)、5. 0 μ m (29 個/m3)の4 粒径の最少濃度が削除されています。

 

最小可測粒径・最大粒子個数濃度

パーティクルカウンターはモデルにより最小可測粒径があります。0.1μm以上を測定する高感度モデル、0.3μm以上、0.5μm以上とあります。
またパーティクルカウンターには最大粒子個数濃度(上限濃度)があり、モデルにより異なります。パーティクルカウンターの吸引流量が大きいモデルや最小可測粒径が小さい高感度モデルは低くなります。最大粒子数濃度は計数損失(同時通過損失10%以下)が発生する濃度を示しています。多くの粒子がセンサー部を通過すると計数損失を起こし、測定数値が少なく計数されます。

空気清浄度クラスに合わせて選びます

クリーンルームの空気清浄度クラスに応じたモデルを選びます。
クラスに応じないパーティクルカウンターを選定してしまうと、最大粒子個数濃度を超えてしまい正しい測定が行えなくなります。たとえばISO Class 8のクリーンルームで最小可測粒径が0.1μmのパーティクルカウンターで測定した場合には、最大粒子個数濃度を超えてしまい正しく測定が行えません。
クリーンルームの空気清浄度が不明な場合には、持ち運びが容易なハンドヘルド型 気中パーティクルカウンターMET ONE HHPC+シリーズ(9-5601-21、9-5601-22、9-5601-23)にて実際に測定して確認する方法もあります。

以下リンクより、アズワン株式会社が運営するECサイト「AXEL」にて
取り扱いの気中パーティクルカウンターを検索することができます。
記事とあわせて選定の参考にしていただければ幸いです